[发明专利]对包含第Ⅷ族金属的表面采用固定磨料制品的平面化方法无效
申请号: | 02825566.6 | 申请日: | 2002-12-17 |
公开(公告)号: | CN1606486A | 公开(公告)日: | 2005-04-13 |
发明(设计)人: | G·M·萨布德 | 申请(专利权)人: | 微米技术有限公司 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;B24D3/00;B24B37/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 卢新华;段晓玲 |
地址: | 美国爱*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种平面化方法,其中包括提供包含VIII族金属的表面(优选包含铂的表面),在平面化组合物存在下,将其放到与固定磨料制品接触的位置上,其中固定磨料制品包括硬度不大于约6.5Mohs的许多磨料粒子,它们分散在粘附在底板材料至少一个表面上的粘合剂中。 | ||
搜索关键词: | 包含 金属 表面 采用 固定 磨料 制品 平面化 方法 | ||
【主权项】:
1.一种平面化方法,其中包括:将基片包含VIII族金属的表面放到与固定磨料制品的界面上,其中VIII族金属选自铑、铱、钌、锇、钯、铂、和它们的组合;在界面附近提供平面化组合物;和采用固定磨料制品使基片表面平面化;其中固定磨料制品包括硬度不大于约6.5Mohs的许多磨料粒子,它们分散在附着在底板材料至少一个表面上的粘合剂中。
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