[发明专利]用于处理聚硅氮烷的溶剂和采用这种溶剂处理聚硅氮烷的方法

摘要

聚硅氮烷采用一种单一或混合溶剂进行处理，所述溶剂含有一种或多种选自下述物质的成分：二甲苯、苯甲醚、萘烷、环己烷、环己烯、甲基环己烷、乙基环己烷、苎烯、己烷、辛烷、壬烷、癸烷、一种C₈－C₁₁烷烃混合物、一种C₈－C₁₁芳烃混合物、一种含5－25重量％的C₈或更多芳烃的脂族/脂环族烃混合物、和二丁醚，其中，在1ml所述溶剂中存在的0.5微米或更大微粒的数目为50或更少。至于所述聚硅氮烷的处理，例如，可以列举的有：通过旋涂聚硅氮烷到一种半导体基材上形成的聚硅氮烷膜的边缘清洗和背面清洗。所述溶剂的水含量优选为100ppm或更少。

主权项

1.一种用于处理聚硅氮烷的溶剂，该溶剂是一种单一或混合溶剂，含有一种或多种选自下述物质的成份：二甲苯、苯甲醚、萘烷、环己烷、环己烯、甲基环己烷、乙基环己烷、苎烯、己烷、辛烷、壬烷、癸烷、一种C8-C11烷烃混合物、一种C8-C11芳烃混合物、一种含5-25重量％的C8或更多芳烃的脂族/脂环族烃混合物、和二丁醚，其中，在1ml所述溶剂中存在的0.5微米或更大微粒的数目为50或更少。