[发明专利]薄膜叠层方法及叠层装置无效
| 申请号： | 02826967.5 | 申请日： | 2002-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1612800A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 土屋胜则;小泽恭子 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | B29C65/06 | 分类号： | B29C65/06;B29C65/08 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 钟晶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的薄膜叠层方法，在叠层基板和薄膜时，对所述基板或者所述薄膜的至少一方施加具有规定频率的声波。由此，因为通过声音振动能作用产生薄膜的弹性形变、塑性形变、基板一薄膜间的原子间结合、摩擦热等，因此可以充分提高薄膜对基板的密合性和凹凸覆盖性，可以以高水平实现薄膜向基板的凹凸部分的埋入性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.薄膜叠层方法，其在向基板上叠层薄膜时，在所述基板或薄膜的至少一方施加具有规定频率的声波。
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