[发明专利]具有触头和支座凸块的MEMS器件及其相关方法有效
| 申请号： | 02826974.8 | 申请日： | 2002-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN1613154A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 达纳·R·德吕斯 | 申请（专利权）人： | 图恩斯通系统公司;维斯普瑞公司 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84;H01L29/82 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 根据一个实施例，提供一种悬挂在基板上方的可移动MEMS部件。该部件可包括结构层，该结构层具有与基板分开一定间隙的可移动电极。该部件还可包括至少一个支座凸块，该支座凸块固定到结构层上并延伸到所述间隙中，当该部件移动时用于防止可移动电极与导电材料接触。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 支座 mems 器件 及其 相关 方法 | ||
【主权项】：
1、一种悬挂在基板上方的可移动MEMS部件，该部件包括：(a)具有可移动电极并与基板分开一定间隙的结构层；和(b)固定到结构层上并延伸到所述间隙中的至少一个支座凸块，当该部件移动时所述支座凸块用于防止可移动电极与导电材料接触。
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