[发明专利]采用直写纳米刻蚀印刷的固态部件的图案化无效
| 申请号： | 02827280.3 | 申请日： | 2002-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1615457A | 公开（公告）日： | 2005-05-11 |
| 发明（设计）人： | 查德·A·米尔金;维纳亚克·P·德拉维德;苏明;刘晓刚 | 申请（专利权）人： | 西北大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B82B3/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 臧建明;经志强 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明包括一种在衬底上制造有机/无机复合纳米结构的方法，包括：使用浸沾笔纳米刻蚀，在衬底上沉积具有嵌段共聚物和无机前驱体的溶液。该纳米结构包括具有宽度/直径小于1微米的点和/或线的阵列。本发明还包括一种器件，该器件包括有机/无机复合纳米级区域，其中该纳米级区域除了高度之外具有纳米级尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 纳米 刻蚀 印刷 固态 部件 图案 | ||
【主权项】：
1.一种纳米刻蚀的方法，包括：提供一衬底；提供一纳米级探针，其上具有一涂墨合成物，其中该涂墨合成物包括至少一金属氧化物前驱体；使该涂墨合成物从该纳米级探针转移到该衬底上，以在该衬底上形成包括至少一金属氧化物前驱体的沉积物。
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