[发明专利]MgO蒸镀材料及其制造方法无效
| 申请号： | 02827735.X | 申请日： | 2002-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1617946A | 公开（公告）日： | 2005-05-18 |
| 发明（设计）人： | 樱井英章;丰口银二郎;黑光祥郎 | 申请（专利权）人： | 三菱麻铁里亚尔株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C04B35/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郭煜;王景朝 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | MgO蒸镀材料，其中含有MgO纯度在99.0％或以上而且相对密度在90.0％或以上、硫S含量为0.01～50ppm、氯Cl含量为0.01～50ppm、氮N含量为0.01～200ppm、磷P含量为0.01～30ppm的多晶颗粒。在使用电子束蒸镀法将该材料蒸镀时，几乎不会发生喷溅，而且可以提高形成的MgO膜的膜特性。 | ||
| 搜索关键词： | mgo 材料 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.MgO蒸镀材料，其特征在于，其中含有MgO纯度在99.0％或以上而且相对密度在90.0％或以上、气化成分的含量为0.01～200ppm的多晶颗粒。
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