[发明专利]以硫化锌作为主成分的溅射靶、使用所述靶形成有以硫化锌作为主成分的相变型光盘保护膜的光记录介质、以及所述溅射靶的制造方法有效
| 申请号： | 02828097.0 | 申请日： | 2002-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN1620692A | 公开（公告）日： | 2005-05-25 |
| 发明（设计）人： | 矢作政隆;高见英生 | 申请（专利权）人： | 株式会社日矿材料 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26;G11B7/24;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;杨青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了溅射靶和使用所述靶形成有以硫化锌作为主成分的相变型光盘保护膜的光记录介质、以及所述靶的制造方法，其特征在于溅射靶以硫化锌作为其主成分，并能够在2.0到2.6的范围内调整含导电氧化物的膜的折射率。这种溅射靶以及采用该靶在光记录介质上形成有以硫化锌作为主成分的相变型光盘保护膜的光记录介质能够减少在溅射过程中产生的粒子(排尘)和突起物、质量偏差最小化、并能够提高规模赢利性、并且其中晶粒是细的以及具有至少为90％的高密度。 | ||
| 搜索关键词： | 硫化锌 为主 成分 溅射 使用 形成 相变 光盘 保护膜 记录 介质 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶和使用所述靶形成有以硫化锌作为主成分的相变型光盘保护膜的光记录介质，其特征在于所述溅射靶以硫化锌作为其主成分，并能够在2.0到2.6的范围内调整含导电氧化物的膜的折射率。
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