[发明专利]具有疏水涂层的压力传感器无效
| 申请号： | 02828256.6 | 申请日： | 2002-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN1695049A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·黑格纳;武尔费特·德鲁斯;安德烈亚斯·罗斯贝格;埃尔克·施密特 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L7/00;G01L19/06 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 钟强;谷惠敏 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于测量压力的压力传感器，包括：压力室；以及形变体，其可以被加载要测量的压力下的介质，且至少部分地限制压力室并以压力密封的方式将该压力室对于介质关闭；其中传感器室的壁具有疏水涂层，该疏水涂层通过气相淀积来施加。疏水涂层优选地包括硅烷。特别适合的是具有一或多个疏水基团R和一或多个结合基团X的硅烷。特别优选为：R－Si－X3、R1R2－Si－X2、R1R2R3－Si－X。疏水基团R优选为烷基、全氟烃基、苯基或全氟苯基基团。结合基团X优选为OH(硅烷醇)、－X(卤化物、例如C1)、－OR(酯，例如OCH3)、－NH2 (胺)或SH(疏基硅烷)。此外，可以使用脂肪族或环族硅氮烷Si－NH－Si，例如六甲基二硅氮烷。同样合适的有Ry－Me－Xz类型的组合物，Me例如为Zr、Ti。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 疏水 涂层 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量压力的压力传感器，其具有：传感器室；以及形变体，其可以被供给要测量的压力下的介质，并且其另外至少在该室的部分上密封传感器室，使其与介质压力密封；其中传感器室的壁具有疏水涂层，其特征在于，该疏水涂层通过气相淀积而施加。
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