[发明专利]X射线显微镜

摘要

一种X射线显微镜，包括扩展X射线源，以及用于放置测试物体3的装置以及记录装置，且它们之间设置了X射线毛细透镜。后者的通道向记录装置发散。用于放置测试物体的装置被设置于扩展X射线源和X射线毛细透镜的较小端侧之间。该装置的特点是用于辐射传输的通道(14，16)的壁具有涂层或者由吸收或散射X射线辐射的材料制成，并具有截锥或截棱锥的侧向表面形状，或者圆柱或棱柱的侧向表面形状。采用具体选择的材料，可以排除总外部反射的现象，同时通道的纵向轴的直线性确保它们用作准直器。因此，通道仅获取来自准确地位于其入口对面的测试物体3的片段的辐射。与已知装置相比，排除了总外部反射的以从零到临界角度θc的角度进入通道18的辐射获取。由此，分辨率完全由通道入口的降低尺寸的技术可能性确定。使用扩展X射线的能力允许充分降低曝光时间同时降低X射线管的功率。

主权项

1.一种X射线显微镜，包括扩展X射线源(1)，以及用于放置测试物体(3)的装置(4)以及记录装置(8)，且它们之间设置了X射线毛细透镜(7)，该透镜具有用于向记录装置(8)发散的辐射传输的通道，所述用于放置测试物体的装置(4)被安装于所述扩展辐射源(1)和所述X射线毛细透镜(7)的较小端侧(5)之间，其中，用于X射线毛细透镜(1)的辐射传输的通道(14，16)的壁具有涂层或者由吸收或散射X射线辐射的材料制成，以便排除总外部反射的现象，并具有截锥或截棱锥的侧向表面形状，或者圆柱或棱柱的侧向表面形状。