[发明专利]防止压电微致动器中的操作和制造缺陷的系统和方法无效
| 申请号： | 02829081.X | 申请日： | 2002-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN1628341A | 公开（公告）日： | 2005-06-15 |
| 发明（设计）人： | 姚明高;白石一雅 | 申请（专利权）人： | 新科实业有限公司 |
| 主分类号： | G11B5/48 | 分类号： | G11B5/48 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨生平;王忠忠 |
| 地址： | 中国香港葵涌葵*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 用于通过物理和电气隔离压电材料的导电层来防止压电微致动器中的操作和制造缺陷的方法和系统。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 压电 微致动器 中的 操作 制造 缺陷 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制造致动器的方法，包括：将至少一个导电材料层和至少一个电绝缘材料层施加到一个致动器指上，其中所述导电材料和所述绝缘材料以交替方式逐层施加；且所述绝缘材料层的面积大于所述导电材料层，从而一个绝缘层-该绝缘层施加到所述致动器指，并且在该绝缘层与所述致动器指之间夹着一个导体层-至少部分封闭并电气绝缘所述导电层。
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