[发明专利]清洁片材、具有清洁功能的传递部件和对基材加工设备清洁的方法无效
| 申请号： | 02829173.5 | 申请日： | 2002-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN1627999A | 公开（公告）日： | 2005-06-15 |
| 发明（设计）人： | 並河亮;寺田好夫;额贺二郎 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;H01L21/68;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明披露一种用于应远离杂质的基材加工设备的清洁片材，例如用于制备和检查半导体、平板显示器、印刷基板的设备，具有清洁功能的传递部件和清洁方法。本发明提供：一种清洁片材，其包含作为清洁层的多孔层；或一种清洁片材，其包含具有多孔层的片状材料，以及形成在该片状材料一侧上的胶粘剂层。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 具有 功能 传递 部件 基材 加工 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种清洁片材，其包括作为清洁层的多孔层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日东电工株式会社，未经日东电工株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02829173.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体器件制造方法
- 下一篇：网板印刷装置及网板印刷方法
