[发明专利]具有可变形弹性体导电元件的微机电开关无效
| 申请号： | 02829426.2 | 申请日： | 2002-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1650382A | 公开（公告）日： | 2005-08-03 |
| 发明（设计）人： | H·德利吉安尼;D·R·格林伯格;C·V·亚恩斯;J·L·伦德;K·L·森格尔;R·P·沃朗 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01H57/00 | 分类号： | H01H57/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 于静;李峥 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种具有可变形弹性体元件(1)的微机电开关(MEMS)，该微机电开关以少量的移位表现出导电性方面的大的变化。可变形弹性体元件(1)被通过横向施加的静电力移动，从而产生了小的横向位移。所述横向位移又将金属触点(7)推向两个导电通路(5，6)，从而允许电信号通过。在两个相对侧给弹性体(1)提供了嵌入的金属元件(9，10)，诸如注入的金属棒、金属薄片、金属微粒或者导电膏。驱动电极(18，8)与弹性体的导电侧并行放置。在弹性体的导电侧和相应的驱动电极(18，8)之间施加的电压产生静电吸引力，所述静电吸引力压缩弹性体(1)，从而产生闭合MEMS的横向位移。基于弹性体的MEMS通过延长可变形开关元件的疲劳寿命而延长了开关的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 变形 弹性体 导电 元件 微机 开关 | ||
【主权项】：
1.一种用于断开和闭合导电通路的微机电开关(MEMS)，包括：可变形弹性体元件(1)，具有两个相对的导电侧(9，10)；导体(7)，位于所述可变形弹性体元件(1)的另外一个表面上；以及至少两个驱动电极(18，8)，基本上与所述可变形弹性体元件(1)的所述相对导电侧平行，其中施加在相对导电侧(9，10)中的每一侧与所述两个驱动电极(18，8)中相应的一个之间的电压向着所述驱动电极(18，8)中相应的一个静电地吸引所述相对导电侧(9，10)，从而使得所述可变形弹性体元件(1)伸长，沿远离所述可变形弹性体元件(1)的方向移动所述导体(7)，从而闭合所述MEMS。
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