[发明专利]带有悬臂和光学共振器的传感器无效
| 申请号： | 02829462.9 | 申请日： | 2002-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN1682315A | 公开（公告）日： | 2005-10-12 |
| 发明（设计）人： | P·L·T·M·弗雷德里克斯;H·J·于格 | 申请（专利权）人： | 瑞士探测器股份公司 |
| 主分类号： | G12B21/08 | 分类号： | G12B21/08;G12B21/20;G12B21/02;G01D5/26;G01D5/353 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 廖凌玲 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 一种光学传感器，特别是用于扫描力显微镜的光学传感器，利用在悬臂(3)与透镜组件(10)的输出表面(12b)之间的光学共振器测量悬臂(3)的偏转。为了形成共振器，输出表面(12b)是凹的并且平行于共振器内光的波前。这种设计提供一种高稳定性的共振器并且使得能够把透镜组件(10)和悬臂(3)之间的距离保持得比较大。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 悬臂 光学 共振器 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种传感器，包括：悬臂(3)，其中所述悬臂(3)的位置取决于要测量的参数，形成在两个反射镜之间的光学共振器(15)，其中第一镜布置在所述悬臂(3)上并且其中所述共振器(15)的长度取决于悬臂(3)的位置，其特征在于，用于把光聚焦在悬臂(3)上的透镜组件(10)，所述透镜组件(10)具有面对悬臂(3)的输出表面(12b)，其中所述输出表面(12b)是凹的并且形成所述共振器(15)的第二镜。
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