[发明专利]具有扭杆的微型可动元件有效
| 申请号： | 02829744.X | 申请日： | 2002-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN1685270A | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | 壶井修;水野义博;上田知史;佐胁一平;奥田久雄;山岸文雄;曾根田弘光;高马悟觉 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社;富士通媒体部品株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫;王玉双 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种微型可动元件(X1)，具有在材料基板上一体成形的可动部(111)、框架(112)、和连接可动部与框架的连接部(113)，所述材料基板具有由含有中心导体层(110b)的多个导体层(110a～110c)和夹在导体层(110a～110c)间的绝缘层(110d、110e)构成的叠层结构。可动部(111)包含来源于中心导体层(110b)的第一结构体。框架(112)包含来源于中心导体层(110b)的第二结构体。连接部(113)包含多个扭杆(113a、113b)，该多个扭杆(113a、113b)来源于中心导体层(110b)，相对于第一结构体和第二结构体而连续连接，且相互电分离。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微型 元件 | ||
【主权项】：
1、一种微型可动元件，其特征在于，具有在材料基板上一体成形的可动部、框架、和连接可动部与框架的连接部，所述材料基板具有由含有中心导体层的多个导体层和夹在导体层间的绝缘层构成的叠层结构，所述可动部包含来源于所述中心导体层的第一结构体，所述框架包含来源于所述中心导体层的第二结构体，所述连接部包含多个扭杆，该多个扭杆来源于所述中心导体层，相对于所述第一结构体和所述第二结构体而连续连接，且相互电分离。
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