[发明专利]热处理装置和热处理方法

摘要

热处理装置包括具有上下方向上分割成三个区的反应容器、支撑基板的基板保持具、和针对每个区设在反应容器的侧方的加热器和控制部。在各控制部上连接着检测各自负责的区的温度的温度检测部。中段区的温度检测部还连接到对应于上下段区的控制部。上下段区的控制部，在基板保持具搬入时，以中段区中的温度检测部的温度检测值作为温度目标值基于该区的温度检测值来运算，并输出加热器的控制信号。

主权项

1.一种热处理装置，其特征在于，备有：分割成多个区的反应容器，支撑多个基板并且搬入反应容器内的基板保持具，针对每个区所设置的加热单元，针对每个区所设置的温度检测部，以及针对每个区所设置，独立地控制各加热单元的控制部，对应于一个区的控制部具有：在所述基板的搬入时，基于对应于该一个区的温度检测部的温度检测值，以对应于其他区的温度检测部的温度检测值为温度目标值进行运算，以其运算结果为加热单元的控制信号输出的第一运算部。