[发明专利]带非圆形光阑的微印刷用投影镜头有效
| 申请号： | 02829936.1 | 申请日： | 2002-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1695073A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | H－J·曼;W·辛格 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/00 | 分类号： | G02B5/00;G03F7/20;G02B17/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 吴鹏;马江立 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种用于微印刷的投影镜头包括一设置在该镜头的镜片(S2)的前方一定距离(D)处的光阑(BL)。该光阑具有一孔(28)，该孔具有根据主光线(34)的倾斜度并根据光阑(BL)和镜片(S2)之间的距离(D)以非圆形方式延伸 (28′)的边缘轮廓。 | ||
| 搜索关键词： | 圆形 光阑 印刷 投影 镜头 | ||
【主权项】：
1.一种用于微印刷的投影镜头，包括多个成像部件(S1-S6)和一个具有用于控制光通量的光阑孔(28)并且与上述镜片(S2)相关的光阑(BL)，该多个成像部件包括至少一个镜片(S2)，主光线以相对于该镜片的轴线(A)倾斜的方式落在该镜片上，其特征在于，该光阑设置在该至少一个镜片(S2)前方一定距离处，并且该光阑孔(28)的边缘轮廓为非圆形的以使得光场(42)的两条相对于光场主光线(34)对称设置的光线得到同样的处理，例如对于物场中心而言，两条光线或者同时通过光阑孔(28)或者同被光阑(BL)阻挡。
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