[发明专利]无机盐原料液相化学法制备SrBi2Ta2O9铁电陶瓷薄膜

摘要

本发明特别涉及的是无机盐原料液相化学法制备SrBi2Ta2O9铁电陶瓷薄膜，本发明的技术是这样实现的：可溶性无机盐原料的制备，SrBi2Ta2O9溶液的制备，SrBi2Ta2O9溶胶的制备，SrBi2Ta2O9薄膜的制备。SrBi2Ta2O9铁电陶瓷薄膜的制备目前国内外在液相化学法方面采用的原料都是金属有机盐类化合物。本发明首次以无机物为原料，采用络合剂螯合技术，利用无机盐溶液液相化学法成功地制备出了SrBi2Ta2O9铁电陶瓷薄膜。此方法对利用我国资源优势制备SrBi2Ta2O9薄膜，发展信息产业技术有重要现实意义。

主权项

1.一种无机盐原料液相化学法制备SrBi2Ta2O9铁电陶瓷薄膜，具体工艺包括以下步骤：(一)可溶性无机盐原料的制备(1)制备0.35-0.5mol/l的Bi盐水溶液；其中Bi的盐溶液主要为硝酸盐、氯化盐等无机盐；(2)制备0.5-0.6mol/l氟钽酸水溶液；(3)制备0.4-0.6mol/l的Sr盐水溶液，其中Sr的盐溶液主要为硝酸盐、氯化盐等无机盐；(二)SrBi2Ta2O9溶液与溶胶的制备将0.2-0.3mol/l浓度的柠檬酸水溶液约6-10％(溶液占容器的体积百分比，以下类同)放入容器中，然后加入上述(1)的溶液10-17％，搅拌形成均匀的柠檬酸基Bi溶液；滴入3-7％上述(3)溶液，同样搅拌形成均匀的柠檬酸基Bi+Sr混合溶液；再逐渐滴入上述(2)6-10％，搅拌30分钟以上，形成Bi+Sr+Ta的混合液；在以上混合溶液中滴入浓度为0.2-0.3mol/l的乙二醇水溶液3-7％，并加热至50-60℃，形成聚合反应，搅拌2-3小时；冷却到室温后再加入3-7％浓度为0.2-0.3mol/l的乙二胺四乙酸(EDTA)氨水溶液，用于调节酸碱性(pH≤3)和使聚合反应进一步进行，搅拌2-3小时，并放置3天以上，形成最后络合稳定的含SrBi2Ta2O9浓度为0.04-0.08mol/lBi+Sr+Ta混合溶胶待用；(三)采用通常的方法制备SrBi2Ta2O9薄膜。