[发明专利]分析薄膜表面粗糙度的方法有效
| 申请号： | 03100868.2 | 申请日： | 2003-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN1519556A | 公开（公告）日： | 2004-08-11 |
| 发明（设计）人： | 陈瑞兴 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 台湾省新竹科学*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种分析薄膜表面粗糙度的方法，此方法是首先扫描一薄膜表面，以取得薄膜表面的一波峰信号。接着，取得波峰信号在一固定比例高度的高度值，并且取得波峰信号在该高度位置的宽度值。之后，将此高度值除以此宽度值，即为薄膜表面的尖锐度。倘若薄膜表面的尖锐度小于一标准值，即表示薄膜表面粗糙度符合标准。利用本发明的分析方法可以确实的反映出薄膜表面的粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 分析 薄膜 表面 粗糙 方法 | ||
【主权项】：
1.一种分析薄膜表面粗糙度的方法，其特征是，该方法包括：扫描一薄膜表面，以取得该薄膜表面的一波峰信号；取得该波峰信号在一固定比例高度的一高度值；取得该波峰信号在该固定比例高度位置的一宽度值；将该高度值除以该宽度值，即为该波峰信号的一尖锐度；以及倘若该该波峰信号的该尖锐度小于一标准值，即表示该薄膜表面粗糙度符合标准。
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