[发明专利]光均匀化显微影像装置有效
申请号: | 03100907.7 | 申请日: | 2003-01-02 |
公开(公告)号: | CN1515923A | 公开(公告)日: | 2004-07-28 |
发明(设计)人: | 王浩伟;叶迎春;柯俊宏 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G02B21/06 | 分类号: | G02B21/06;G02B27/10;H01S3/00;G01N21/64;G01N21/65 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是有关于一种光均匀化的显微影像装置,其主要是在入射光源与分光单元之间置放一光绕射单元,以使得入射光源所提供的入射光成为一均匀化入射光,该均匀化入射光经由分光单元以大面积照射样品,由样品激发出来的光信号透射分光单元,继而透射滤光片,而被影像撷取单元接收获得该样品的影像。 | ||
搜索关键词: | 均匀 显微 影像 装置 | ||
【主权项】:
1.一种光均匀化的显微影像装置,其特征在于,主要包括:一入射光源,是提供一入射光;一光绕射单元,是接收该入射光,并使得该入射光成为一均匀化入射光;一分光单元,是反射该均匀化入射光,并使得该均匀化入射光照射至少一样品,以供由该至少一样品激发一光信号,该光信号并能穿透该分光单元;以及一影像撷取单元,是接收穿透该分光单元的光信号,以获得该至少一样品的影像。
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