[发明专利]光谱偏移式纳米近接装置

摘要

本发明是有关于一种光谱偏移式纳米近接装置，其主要包括宽频光源、导光单元及光接收单元。宽频光源发射具有第一中心波长的宽频光至导光单元，导光单元通过一探头单元将宽频光照射待测物。待测物产生具有第二中心波长的偏移光，并经原光路返回导光单元而由光接收单元予以接收，继而光接收单元依据光谱偏移的特性曲线与第一中心波长及第二中心波长的差值，求出探头单元与待测物的距离。利用此差值来回授控制探头单元的位移驱动单元，来调整探头单元与待测物的近场距离。

主权项

1、一种光谱偏移式纳米近接装置，其特征在于：是用以量测一待测样品，该近接装置主要包括：一宽频光源，是产生一宽频光，该宽频光具有一第一中心波长；一导光单元，是包含一探头单元，并接收该宽频光，供该宽频光照射该待测样品，并由该待测样品产生一偏移光，该偏移光具有一第二中心波长；一光接收单元，是接收该偏移光，并依据该第一中心波长与该第二中心波长的差值计算出该探头单元与该待测样品的距离。