[发明专利]角速度传感器

摘要

一种角速度传感器，通过4个质量部相互以逆相位振动使质量部的振动状态稳定，并提高检测精度和可靠性。其特征在于，由外侧支持梁(12)连接质量部(2、6、10、11)，由固定部(14)将该支持梁(12)中与质量部(2、11)和质量部(6、10)以逆相位振动时的节对应的节部(12A)固定于基板(1)上。并且，4个质量部在将其全体的重心(G)大致保持于一定的位置的状态下沿X轴方向进行振动，通过使质量部(2、6)根椐Z轴周围的角速度(Ω)沿Y轴方向变位并将其变位量作为角速度进行检测。由此，可使质量部的振动状态稳定化，同时可由Y轴方向上的对称形状补弥其尺寸误差等，可提高传感器的检测精度和可靠性。

主权项

1.一种角速度传感器，其特征在于，包括：基板；留有间隙地与该基板对向、由相互正交的X轴、Y轴、Z轴组成的3轴方向中沿Y轴方向并列配置的4个质量部；沿X轴方向可变位地与该各质量部连结的支持梁；设于该支持梁与所述基板间、将该支持梁固定于所述基板上的固定部；通过使所述各质量部中的至少一部分质量部振动、使相互邻接的质量部以逆相位沿X轴方向进行振动的振动发生装置；以及在所述4个质量部中将Y轴方向中心位置夹在其间地配置于对称位置的2个质量部上产生角速度作用时该质量部将沿Y轴和Z轴中至少某一方的轴向变位的变位量作为角速度进行检测的角速度检测装置。