[发明专利]一种用于制备毛细管沟道及其取样的方法无效
| 申请号： | 03101532.8 | 申请日： | 2003-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN1517707A | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | 郭增军;蔡新霞;李华清;夏善红;王利;饶能高 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01N33/50 | 分类号： | G01N33/50;G01N33/68;G01N33/543;C12Q1/68 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100080*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机电系统(MEMS)加工工艺和传感技术，用聚二甲基硅氧烷(PDMS)高分子材料和新型环氧负性光刻材料(SU8)制备毛细管沟道及其取样方法，PDMS和SU8是用于微机械加工及微电子的新型材料。先用软件进行毛细管沟道设计，制作掩摸板，用光刻技术对旋涂衬底表面的SU8光刻胶进行高精度加工，得到所需的开放微沟道或微沟道模型，用PDMS的微复制技术组成毛细管沟道流路。在沟道的一端口滴加试样溶液，试样可以部满整个沟道。本发明与微机电系统和集成电路(IC)制造技术等工艺兼容。本发明工艺流程简便、重复性好、制作费用低，易于实现高精度复制和规模化生产，适宜微系统生物酶传感器阵列的制作，适用各种生物传感芯片微型流路的制备，将在生化传感器、生物芯片及微系统集成芯片研究开发中得到广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 毛细管 沟道 及其 取样 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于制备毛细管沟道及其取样的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
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