[发明专利]静电驱动装置有效

专利信息
申请号: 03101603.0 申请日: 2003-01-13
公开(公告)号: CN1433133A 公开(公告)日: 2003-07-30
发明(设计)人: D·J·法森 申请(专利权)人: 惠普公司
主分类号: H02N1/00 分类号: H02N1/00;B81B5/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 杨凯,张志醒
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种具有许多以工作方式固定在动子154上的动子电极152和许多以工作方式固定在定子158上的定子电极156的静电驱动装置150。动子154和定子158配置成通过动子电极152和定子电极156之间产生的静电力而彼此相对运动。静电驱动装置150包括驱动器,后者配置成把定子电极158置于许多顺序的电压状态中的任一种状态下,其中每一种状态由各个定子电极156上的LO和HI电压电平的组合来定义。从一种电压状态向顺序相邻电压状态的转变在动子154和定子158之间产生一定步长的相对运动。对于每一种顺序的电压状态,驱动器160还配置成把加到定子电极156之一的电压选择性地改变到LO和HI电压电平之间的值,以便产生成比例的较小的步长。
搜索关键词: 静电 驱动 装置
【主权项】:
1.一种静电驱动装置150,它包括:动子154和许多以工作方式固定其上的动子电极152;定子158和许多以工作方式固定其上的定子电极,所述动子和定子可以借助于在所述动子电极152和所述定子电极156之间产生的静电力而彼此相对移动;以及驱动器160,它配置成把所述定子电极156驱动到许多顺序的电压状态中的任意一种状态,每种电压状态由存在于所述定子电极上的LO和HI电压电平的组合来定义,其中从一种电压状态向顺序相邻的电压状态的转变产生所述动子154和定子158之间相对运动的一个步长,其中,对每一种所述电压状态,所述驱动器160还配置成把加到所述定子电极之一的电压选择性地改变到所述LO和HI电压电平之间的值,以便产生按比例的较小的步长。
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