[发明专利]有机EL装置及其制造方法和制造装置、及液滴喷出装置有效
| 申请号： | 03101918.8 | 申请日： | 2003-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN1434666A | 公开（公告）日： | 2003-08-06 |
| 发明（设计）人： | 林高之 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;B05D7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在通过喷出功能材料而形成功能膜的过程中，可以有效防止其变质的有机EL装置的制造方法及其制造装置、以及有机EL装置、电子机器、液滴喷出装置。在使导入了发光功能材料的功能液滴喷头7相对于基板W进行扫描、选择性地喷出发光功能材料，在基板W上的多个像素区域中分别形成有机EL功能层的有机EL元件的制造方法中，喷出发光功能材料的喷出工艺在惰性气体环境中进行。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 el 装置 及其 制造 方法 喷出 | ||
【主权项】：
1.一种有机EL装置的制造方法，是使导入了发光功能材料的功能液滴喷头相对于基板作相对扫描、选择性喷出所述发光功能材料后在所述基板上的多个像素区域中分别形成有机EL功能层的有机EL装置的制造方法，其特征是，喷出所述发光功能材料的喷出工艺在惰性气体环境下进行。
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