[发明专利]清洁用组合物无效
| 申请号： | 03101968.4 | 申请日： | 2003-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN1441043A | 公开（公告）日： | 2003-09-10 |
| 发明（设计）人： | E·安祖拉斯;R·K·巴尔;D·E·伦迪;C·奥康纳 | 申请（专利权）人： | 希普利公司 |
| 主分类号： | C11D7/60 | 分类号： | C11D7/60 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊,程伟 |
| 地址： | 美国马萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种由非螯合有机酸、其盐或酯以及螯合有机酸、其盐或酯组成的清洁用组合物，该清洁用组合物可用于清洁基材上的残质及渣滓。该清洁用组合物适用于清洁自光阻剂衍生出的残质及渣滓。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 组合 | ||
【主权项】：
1.一种清洁用组合物，它包括由非螯合有机酸、非螯合有机酸盐、非螯合有机酸酯及其混合物构成的第一成分所组成的活性清洁成分以及由螯合有机酸、螯合有机酸盐、螯合有机酸酯及其混合物构成的第二成分的组合；该活性清洁成分以能自基材上移除光阻剂渣滓及残质的足够用量存在。
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