[发明专利]缺陷检测参数分析方法

摘要

一种缺陷检测参数分析方法，用以分析多批分别具有一个批号的产品，每批产品经过多个机台所制得，而每批产品中一片或以上的晶圆至少经过一个缺陷检测项目的检测，以产生一个缺陷检测参数值，此缺陷检测项目及其参数值以及与此缺陷检测项目相关的一个制程站别储存于一个数据库中，本方法包括步骤：搜寻数据库以取得多批产品的缺陷检测参数值；依据缺陷检测参数值将多批产品区分为至少一个合格产品组及一个不合格产品组；从数据库中搜寻与缺陷检测项目相关的制程站别；搜寻合格产品组在制程站别所经过的机台；搜寻不合格产品组在制程站别所经过的机台；判断不合格产品组经过机率高于合格产品组经过机率的机台。

主权项

1、一种缺陷检测参数分析方法，用以分析多批分别具有一个批号的产品，该多批产品经过多个机台所制得，而每批产品中的一片或以上的晶圆至少经过一个缺陷检测项目的检测以产生一个缺陷检测参数值，该缺陷检测项目及与该缺陷检测项目相关的一个制程站别储存于一个数据库中，该数据库还储存有该缺陷检测参数值，其特征在于，该方法包含：搜寻该数据库以取得该多批产品的缺陷检测参数值；依据该缺陷检测参数值将该多批产品区分为至少两个产品组，这些产品组包含一个合格产品组及一个不合格产品组；从该数据库中搜寻与该缺陷检测项目相关的该制程站别；搜寻该合格产品组在该制程站别所经过的机台；搜寻该不合格产品组在该制程站别所经过的机台；以及判断该不合格产品组经过机率高于该合格产品组经过机率的机台。