[发明专利]附着于玻璃面的异物的除去方法及除去装置

摘要

一种可将附着于玻璃基板的玻璃面的异物，不会伤及玻璃地加以除去，且不会引起异物的再附着，同时也不占场所的除去附着于玻璃面的异物的技术。一种附着于玻璃面的异物的除去装置，是除去附着于玻璃基板或至少单面由玻璃构成的基板的玻璃面的异物的装置，特征为：具备至少平行移动上述基板的基板移动机构、研磨基板的玻璃面的研磨机构及将洗净液供给基板的洗净液供给机构；上述研磨机构(2a、2b)的研磨面对向配置着，从上述洗净液供给机构(4)供给洗净液的状态下，一面旋转上述研磨机构的研磨面，一面为使基板的两面接触该对向的研磨面，而通过上述基板移动机构(3)朝玻璃面方向平行移动基板(10)，而能两面同时地除去上述玻璃面上的异物。

主权项

1.一种附着于玻璃面的异物的除去方法，除去附着于玻璃基板或至少单面由玻璃构成的基板的玻璃面的异物，其特征为：在供给洗净液的状态下，一面旋转研磨机构的研磨面，一面使其接触上述基板的两面，而且将上述基板朝玻璃面方向平行移动，从而两面同时地除去上述玻璃面上的异物。