[发明专利]包括由导电衬垫隔开的镜面基片和布线基片的微镜面单元有效
| 申请号： | 03102321.5 | 申请日： | 2003-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN1459643A | 公开（公告）日： | 2003-12-03 |
| 发明（设计）人： | 曾根田弘光;上田知史;奥田久雄;佐脇一平;壺井修;水野义博;高马悟觉;中村义孝;山岸文雄 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社;富士通媒体器件株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B6/12;H04B10/12 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微镜面单元包括：微镜面基片、布线基片和置于这些基片之间的导电衬垫。该微镜面基片具有运动部分、框架以及把该运动部分连接到该框架的扭杆。该运动部分具有镜面形成部分。该布线基片形成有布线图案。该导电衬垫把该框架电连接到布线图案，并且还提供用于使微镜面基片与布线基片相互隔开的间隔。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 导电 衬垫 隔开 镜面基片 布线 微镜面 单元 | ||
【主权项】：
1.一种微镜面单元，其中包括：微镜面基片，其具有运动部分、第一框架以及把该运动部分连接到该框架的扭杆，该运动部分具有镜面形成部分；形成有布线图案的布线基片；以及导电衬垫，用于把该框架电连接到布线图案并且用于使微镜面基片与布线基片相互隔开。
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