[发明专利]非接触式电容复合电极型位移传感器及测量仪

摘要

本发明公开了一种非接触式电容复合电极型位移传感器及测量仪，特别适用于位移和厚度的测量。所述的传感器由外屏蔽电极壳、测量电极、复合电极、内屏蔽电极、电路板、电缆接头构成。并在该传感器上端设有气嘴接头；该气嘴与传感器内腔及电极间隙构成气路通道；电路板主要包括热敏元件、压力敏感元件和湿敏元件。所述的测量仪包括标准信号发生器电路；负反馈运算放大器；单片机数据处理及控制电路、显示电路系统构成。本发明具有被测位移仅仅与仪器的结构参数有关，而与被测物体所在介质环境的变化无关的特点。因此它几乎不受外界环境介质对位移测量的影响。提高仪器的稳定性；重复性、分辨力和线性度更好；测量范围更宽；应用范围广泛。

主权项

1.一种非接触式电容复合电极型位移传感器，该位移传感器由外屏蔽电极壳及其壳内的测量电极、内屏蔽电极、电路板、电缆接头构成，其特征在于：在内屏蔽电极与测量电极之间加设了复合电极；在该传感器的上端设有气嘴接头；该气嘴与传感器内腔及电极间隙构成气路通道；电极所连接的电路板主要包括热敏元件、压力敏感元件和湿敏元件组成。