[发明专利]处理室装置及其大气置换方法及包括该装置的电光学装置有效
| 申请号： | 03102540.4 | 申请日： | 2003-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN1438824A | 公开（公告）日： | 2003-08-27 |
| 发明（设计）人： | 林高之 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;H01L33/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以在短时间内对处理室内的惰性气体和大气进行有效置换的处理室装置的大气置换方法、处理室装置、包括该处理室装置的电光学装置以及有机EL装置。是将构成处理室(11)内的惰性气体环境和大气进行置换的处理室装置(3)的大气置换方法，开放处理室(11)的排气通道(102)，同时关闭惰性气体的气体供给通道(138)，强制向处理室(11)内送入外部气体，将处理室(11)内的惰性气体和外部气体置换。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 及其 大气 置换 方法 包括 光学 | ||
【主权项】：
1.一种处理室装置的大气置换方法，是将构成处理室内的惰性气体环境和大气进行置换的处理室装置的大气置换方法，其特征在于：开放所述处理室的排气通道，同时关闭惰性气体的气体供给通道，强制向所述处理室内送入外部气体，将所述处理室内的惰性气体和外部气体置换。
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