[发明专利]脆性材料工件的切割方法及设备无效
| 申请号： | 03102629.X | 申请日： | 2003-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN1520975A | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 郭飞虎 | 申请（专利权）人： | 郭飞虎 |
| 主分类号： | B26F3/00 | 分类号： | B26F3/00;B26F3/16 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑玉洁 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种脆性材料工件的切割方法及设备，其中，方法包含下列步骤：提供一脆性材料工件；提供一辐射束冲击该脆性材料工件的一第一表面；及提供一流体喷流通过该脆性材料工件的该第一表面的上方，对该第一表面产生一抽真空力量，以控制该脆性材料工件形成一裂纹。该方法利用伯努里原理，使通过第一表面上方的流体喷流可以精密控制裂纹的成长。设备包含有一用于固定脆性工件的工作台；一用于提供一辐射束冲击于该脆性材料工件的一第一表面上辐射束供应单元；及一喷嘴，用于喷出一流体喷流，且通过该脆性材料工件的一第一表面的上方，对该第一表面产生一抽真空力量，并控制脆性材料工件形成一裂纹。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 工件 切割 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种脆性材料工件的切割方法，包含下列步骤：提供一脆性材料工件；提供一辐射束冲击该脆性材料工件的一第一表面；及提供一流体喷流，该喷流通过脆性材料工件所述第一表面的上方，对该第一表面产生一抽真空力量，以控制该脆性材料工件形成一裂纹。
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