[发明专利]激光装置、曝光装置及方法无效
| 申请号： | 03103027.0 | 申请日： | 2003-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN1438545A | 公开（公告）日： | 2003-08-27 |
| 发明（设计）人： | 永井善之 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00;H01S3/00;G05D25/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光装置，该激光装置通过激励封入到腔室内的气体而产生激光；其中，具有检测出上述腔室内的上述气体的气体特性的气体特性检测装置和基于上述气体特性检测装置的检测结果计算出上述激光的振荡波长和/或波谱宽度的计算装置。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 装置 曝光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光装置，通过激励封入到腔室内的气体而产生激光；其中，具有检测出上述腔室内的上述气体的气体特性的气体特性检测装置；以及基于上述气体特性检测装置的检测结果计算出上述激光的振荡波长和/或波谱宽度的计算装置。
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