[发明专利]薄膜晶体管液晶显示器及其制造方法有效
申请号: | 03103403.9 | 申请日: | 2003-01-24 |
公开(公告)号: | CN1519629A | 公开(公告)日: | 2004-08-11 |
发明(设计)人: | 陈茂松 | 申请(专利权)人: | 广辉电子股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/136 | 分类号: | G02F1/136;H01L21/3205;H01L29/786;G09F9/35 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 王永建 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明涉及一种薄膜晶体管液晶显示器及其制造方法,利用该制造方法可减少阵列制作的光罩数,其包括下列步骤:沉积一第一金属层于一透明基板上,并定义第一金属层以形成至少二相邻栅极电极;在上述栅极电极表面上形成一栅极绝缘层;在栅极绝缘层上形成一半导体层,并定义该半导体层以形成预定的形状;在上述透明基板上沉积一第二金属层,并定义该第二金属层以形成一源极/漏极金属层;沉积一绝缘层于上述透明基板上;定义该绝缘层、该源极/漏极金属层及栅极绝缘层以形成一接触窗,且此接触窗位于上述相邻栅极电极之间;沉积一透明导电层于上述透明基板上;以及形成一黑矩阵区于该接触窗的上方对应区域。 | ||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 液晶显示器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、一种薄膜晶体管液晶显示器的制造方法,其特征在于,包括下列步骤:沉积一第一金属层于一透明基板上,并定义该第一金属层,以形成至少二相邻的栅极电极;在上述栅极电极表面上形成一栅极绝缘层;在该栅极绝缘层上形成一半导体层,并定义该半导体层以形成预定的形状;在该透明基板上沉积一第二金属层,并定义该第二金属层以形成一源极/漏极金属层;沉积一绝缘层于该透明基板上;定义该绝缘层、该源极/漏极金属层及该栅极绝缘层以形成一接触窗,且该接触窗位于所述相邻栅极电极之间;沉积一透明导电层于该透明基板上;以及形成一黑矩阵区于该接触窗的上方对应区域。
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