[发明专利]电容式动态量传感器有效
| 申请号： | 03103740.2 | 申请日： | 2003-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN1484001A | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | 酒井峰一 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | G01D5/241 | 分类号： | G01D5/241;G01P15/125;G01C19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 夏青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在电容式动态量传感器中，在垂直于预定变形方向的方向延伸的横梁部分(22)中的横梁的宽度(B)与设置在可移动电极(24)和固定电极(32，42)之间在预定变形方向上的缝隙(D)基本上一致。因此，防止了制造误差对该电容式动态量传感器的灵敏度的影响。例如，由于将该横梁的宽度和该缝隙设计成长度一致，允许有±2.5％的制造容限误差。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 动态 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种电容式动态量传感器，包括：横梁部分(22)，它具有基于物理力的施加、用于在预定变形方向(Y)上进行变形的横梁；可移动电极(24)，它与该横梁部分一体形成以便随其移动，并且它沿着垂直于该预定变形方向的方向延伸；以及固定电极(32，42)，面对该可移动电极并且在该预定变形方向上与其隔开预定的缝隙(D)；其中，在垂直于该预定变形方向的方向上延伸的该横梁的宽度(B)和该缝隙是基本上一致的。
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