[发明专利]一种宽带光源的无色差频移及外差干涉信号产生装置无效
| 申请号： | 03104769.6 | 申请日： | 2003-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN1431462A | 公开（公告）日： | 2003-07-23 |
| 发明（设计）人： | 曾理江;汪凯巍 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/023 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种宽带光源的无色差频移及外差干涉信号产生装置，属于在线高速和高精度测量技术领域。该装置含有用于产生宽带光的光源1，被宽带光沿垂直栅线方向扫描且用于产生调制信号的光栅2和用于补偿色差且与光栅2平行静止放置及与光栅2的参数相同的光栅3，用于使沿原路返回来的光栅3的衍射光通过设置在宽带光输入光路上的分光镜6产生外差干涉信号的平面反射镜4、5。利用本发明的宽带光源的无色差频移及外差干涉信号产生装置，可使用双光栅来产生宽带光源的无色差的频移，实现对宽带光源的外差调制，使之可以用于对具有弱反射、台阶面的复杂零件进行高精度干涉测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽带 光源 色差 外差 干涉 信号 产生 装置 | ||
【主权项】：
1、一种宽带光源的无色差频移信号产生装置，其特征在于，该装置含有：光源[1]：用于产生宽带光；光栅[2]：被宽带光沿垂直栅线方向扫描且用于产生调制信号；光栅[3]：用于补偿色差且与光栅[2]平行静止放置及与光栅[2]的参数相同。
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