[发明专利]粘合机中的工作台结构及其控制方法有效
| 申请号： | 03105410.2 | 申请日： | 2003-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN1445588A | 公开（公告）日： | 2003-10-01 |
| 发明（设计）人： | 李相硕;朴相昊 | 申请（专利权）人： | LG.菲利浦LCD株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国,祁建国 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种粘合机中的工作台结构，包括：一可移动地装在一粘合室中的板；安装到该板上的多组静电吸盘，用来提供支撑基板的静电力；多个真空孔，它们在该板中，位于静电吸盘周围，用来接收一真空力，吸附和支撑基板；和多个对准标记确定孔，它们在该板的周边内，用来确定对准所吸附基板的标记，由此通过采用具有与一正规DC电源相反极性的DC电源，更易于将基板与工作台分开。 | ||
| 搜索关键词： | 粘合 中的 工作台 结构 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种粘合机中的工作台结构，其特征在于，包括：一可移动地装在一粘合室中的板；安装到该板上的多组静电吸盘，用来提供支撑基板的静电力；多个真空孔，它们在该板中，位于静电吸盘周围，用来接收一真空力，吸附和支撑基板；和多个对准标记确定孔，它们在该板的周边内，用来确定对准所吸附基板的标记。
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