[发明专利]器件的制造装置及制造方法、器件制造装置的驱动方法

摘要

一种器件的制造装置，其压力发生室(3)具有周期TH的亥姆霍兹谐振频率。驱动信号具有使压力发生室(3)膨胀的第1信号因素、和使处于膨胀状态的压力发生室(3)收缩的第2信号因素、和在液滴排出后使压力发生室(3)直到输出第1信号因素前的状态膨胀的第3信号因素。从第1信号因素的输出开始时到第2信号因素的输出开始时经过的时间和从第2信号因素的输出开始时到第3信号因素的输出开始时经过的时间与周期TH实质上相等，使第1信号因素的振幅和第3信号因素的振幅的和设定为与第2信号因素的振幅实质上相等。在使用液滴排出装置制造器件时，能够稳定排出规定量的液滴、高精度地制造器件。

主权项

1.一种器件的制造装置，具有：包括内部容积可变、带有周期TH的亥姆霍兹谐振频率的压力发生室的液滴排出装置，其特征在于，具有：与上述压力发生室内部连接的喷嘴开口，和使上述压力发生室膨胀及收缩的驱动装置，和对于上述驱动装置输出规定的驱动信号的控制装置；上述控制装置，输出使上述压力发生室膨胀的第1信号因素，和使处于膨胀状态的上述压力发生室收缩并以在该压力发生室内部的液体材料作为液滴、从上述喷嘴开口排出的第2信号因素，和在上述液滴排出后、到输出上述第1信号因素前的状态使上述压力发生室膨胀的第3信号因素，将从上述第1信号因素的输出开始时到上述第2信号因素的输出开始时所经过的时间、设定为与上述周期TH实质上相等，并且将从上述第2信号因素的输出开始时到上述第3信号因素的输出开始时所经过的时间、设定为与上述周期TH实质上相等，将从上述第1信号因素的振幅和上述第3信号因素的振幅的和、设定为与上述第2信号因素的振幅实质上相等。