[发明专利]用于位置测量系统的计量器无效
| 申请号： | 03106373.X | 申请日： | 2003-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1525141A | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 汉斯·约阿希姆·弗赖塔格;海因茨·京特·弗朗茨;安德烈亚斯·施密特 | 申请（专利权）人： | 奥普特莱博许可有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 武玉琴;顾红霞 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明描述了一种用于位置测量系统的计量器(1)，将计量器设置为一个振幅光栅并具有一个齿距结构(3)，该结构包括入射到计量器(1)的辐射(5)出射的亮场(8)和不出射入射的辐射的暗场(11)，所述的亮场(8)和暗场(11)分布在一个平面中，其特征在于入射到两个区域中至少一个的辐射(5)被至少一个设置在计量器(1)上并向所述平面倾斜的表面(9或10)反射。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 位置 测量 系统 计量器 | ||
【主权项】：
1.一种用于位置测量系统的计量器(1)，其被提供作为一个振幅光栅并具有一个齿距结构(3)，该结构包括入射到计量器(1)的辐射(5)出射的亮场(8)和不出射入射的辐射(5)的暗场(11)，所述的亮场(8)或暗场(11)分布在一个平面中，其特征在于入射到所述两个区域中至少一个的辐射(5)被至少一个设置在计量器(1)上并向所述平面倾斜的表面(9或10)反射。
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