[发明专利]磁复制用主载体的制作方法无效
| 申请号： | 03106461.2 | 申请日： | 2003-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1441409A | 公开（公告）日： | 2003-09-10 |
| 发明（设计）人： | 小松和则;宇佐利裕 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G11B5/86 | 分类号： | G11B5/86 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种磁复制用主载体的制作方法。一边使具有电子束描绘用抗蚀剂(12)的圆形衬底(11)在X方向旋转，一边使电子束(EB)在衬底直径方向(Y方向)从Y1到Y2扫描。据此，从Y11到Y12斜着描绘元素(12a)。通过电子束容易并且高精度地描绘磁复制用主载体的相位伺服图形。 | ||
| 搜索关键词： | 复制 载体 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种磁复制用主载体的制作方法，是通过电子束的扫描，制作描绘了相位伺服图形的磁复制用主载体的制作方法，其特征在于：一边在一个方向，以一定速度使涂敷了电子束描绘用抗蚀剂的圆形衬底旋转，一边对于构成所述相位伺服图形的各元素，在所述圆形衬底的直径方向，使具有该元素的最小宽度以下的束径的电子束扫描，描绘所述元素。
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