[发明专利]液滴喷出装置和其驱动方法以及它们的应用无效
| 申请号： | 03106826.X | 申请日： | 2003-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN1442305A | 公开（公告）日： | 2003-09-17 |
| 发明（设计）人： | 臼田秀范 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/165 | 分类号： | B41J2/165;G02B5/20;G02F1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种液滴喷出装置及其驱动方法、制膜装置及其制膜方法，不降低生产率并且可以防止对制膜或图案制作产生的不良影响或对装置产生的污染，该液滴喷出装置(40)设有能够向X轴方向往复移动并且将多个喷嘴纵横对直配置的液滴喷出头(34)、相对于所述载物台(39)上的基板(S)在至少一侧设置的冲洗区域(41)、以及控制液滴喷出头动作的控制装置(40)，液滴喷出头(34)是相对于X轴方向倾斜配置。控制装置(40)在边使所述液滴喷出头移动边在冲洗区域内进行冲洗动作的同时，在至少一个喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，能够控制使所有喷嘴的冲洗动作停止。 | ||
| 搜索关键词： | 喷出 装置 驱动 方法 以及 它们 应用 | ||
【主权项】：
1.一种液滴喷出装置，具有将设置于载物台上方的相对于基板能够向一个方向往复移动并且使在所述基板上喷出液滴的多个喷嘴纵横对直配置的液滴喷出头、相对于所述载物台上的基板在所述一个方向上的至少一侧设置的冲洗区域、以及控制所述液滴喷出头动作的控制装置，所述液滴喷出头是相对于所述一个方向将该喷嘴的列倾斜地设置，其特征在于，所述控制装置设置为，在边使所述液滴喷出头移动边在冲洗区域内在该液滴喷出头上进行冲洗动作的同时，在至少一个喷嘴到达从预先设定的冲洗区域内偏离的位置时，能够控制使所有喷嘴的冲洗动作停止。
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