[发明专利]加热装置

摘要

一种加热装置，作为上述加热装置的IR加热器H是由在薄膜状绝缘玻璃与保护玻璃之间夹持电阻状设置的发热部(1)、设置在基板W的相对侧接受发热部分(1)的热量并提供空气的送气通道(2)、同样设置的吸出含升华气体的空气的排气通道(3)、均匀分布的多个排气孔(21)及吸入孔(31)、接受发热部(1)的热量进行散热的由上板(4)、中间板(5)及下板(6)组成的辐射体(7)等构成。把所述加热装置装备在热处理装置上时，因为仅在IR加热器H与基板W之间的有限空间，只利用IR加热器就能送气吸气，排除升华气体，所以排出效率好，不需要排通道，可使热处理装置小型化。

主权项

1.一种加热装置，具有发热部，并设置在被所述发热部加热时产生应排除的特殊气体的平板状对象物的相对侧，可同样地加热所述对象物的热处理用加热装置，其特征在于：具有设置在与所述对象物相向的范围、并接受所述发热部的热量，吸出由供给的气体及其中含有的所述特殊气体构成的混合气体的气体吸出部，所述气体吸出部具有均匀分布在所述对象物的相对侧并能够吸入所述混合气体的多个气体吸入孔。