[发明专利]具有精细结构的元件及其制造方法无效
| 申请号： | 03108341.2 | 申请日： | 2003-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1446772A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 森和思;松本光晴;富永浩司;田尻敦志;古沢浩太郎 | 申请（专利权）人： | 三洋电机株式会社 |
| 主分类号： | C03C17/27 | 分类号： | C03C17/27;C25D11/02;G02B1/10;G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有良好的光栅漕等精细结构的元件的制造方法。具有这种精细结构的元件的制造方法包括：在基板上形成金属层的工序；在金属层表面上形成凹部点阵的工序；将形成有凹部点阵的金属层表面在与阴极面相对的状态下进行阳极氧化、形成具有线状光栅漕图案的金属氧化膜的工序。因此，如果使点阵的各凹部之间的间隔变小，就能容易地自组织化地形成具有大的深度、并且深度方向上槽宽均匀的线状光栅漕图案。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 精细结构 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.具有精细结构的元件的制造方法，它包括：在基板上形成金属层的工序；在所述金属层表面上形成凹部点阵的工序；将形成有所述凹部点阵的金属层表面在与阴极面相对的状态下进行阳极氧化，制成具有线状光栅漕图案的金属氧化膜的工序。
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