[发明专利]新颖感光化合物，感光树脂，和感光组合物有效
| 申请号： | 03108358.7 | 申请日： | 2003-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1448791A | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 涩谷彻;栗原正宪;竹田美音子;山田一雄 | 申请（专利权）人： | 东洋合成工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 邓毅 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供含有叠氮基团适于在短波长光下曝光的感光化合物；包含感光化合物的感光树脂；和包含感光化合物或感光树脂的感光组合物。该感光化合物包含由通式(1)表示的感光单元：其中R选自右I′基团，X选自I″基团，和每个Y和Z表示氢原子、烷基、含缩醛基团的烷基、芳基、芳烷基、或包含碱形成氮原子的取代基，其中R和X的至少一个包含叠氮基。 | ||
| 搜索关键词： | 新颖 感光 化合物 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种包括由通式(1)表示的感光单元的感光化合物：其中R选自如下基团，X选自如下基团，和每个Y和Z表示氢原子、烷基、含缩醛基团的烷基、芳基、芳烷基、或包含碱形成氮原子的取代基，其中R和X的至少一个包含叠氮基。
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