[发明专利]激光束均匀照射的光学系统有效
| 申请号： | 03108378.1 | 申请日： | 2003-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1448753A | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 岡本達樹;森川和敏;佐藤行雄;西前順一;小川哲也 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10;G02B27/28;H01L21/324;H01S3/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 激光束均匀照射的光学系统，包括：把来自光源的激光束在空间上分割为分割束的波导；把分割束重合照射在照射面上的重合用透镜；使照射面上的光束强度均匀的延迟板。波导使分割束宽度为激光束截面上的空间干涉距离的1/2倍以上；延迟板使分割出的彼此相邻的分割束间延迟比该激光束的时间的干涉距离还长，减轻照射面上的干涉。另一光学系统包括：把激光束分割为分割束的激光束分割部件；把分割束重合照射在照射面上的重合照射部件；使照射面上的光束强度均匀的均匀化部件。均匀化部件包括：使分割出的彼此相邻的分割束之间延迟比该激光束的时间的干涉距离还长的光学延迟部件，还可包括：使分割出的彼此相邻的分割束之间偏振方向实质上正交的旋光部件。 | ||
| 搜索关键词： | 激光束 均匀 照射 光学系统 | ||
【主权项】：
1.一种激光束均匀照射的光学系统，包括：把来自激光光源的激光束在光束截面中、在空间上分割为分割束的激光束分割部件；以及把分割束重合照射在照射面上的重合照射部件；其特征在于：所述激光束分割部件使所述的分割束宽度大于、等于激光束截面的截面方向的空间干涉距离的1/2倍。
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