[发明专利]用于安装半导体芯片的装置无效

专利信息
申请号: 03108382.X 申请日: 2003-03-28
公开(公告)号: CN1449242A 公开(公告)日: 2003-10-15
发明(设计)人: 尤金·曼哈特;拉特·舒彼格 申请(专利权)人: ESEC贸易公司
主分类号: H05K13/04 分类号: H05K13/04;H05K3/34;H01L21/58
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 李强
地址: 暂无信息 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种安装半导体芯片的装置,包括存放基片(2)的装载台(1),第一传送系统(4)和第二传送系统(5)。第一传送系统(4)用于在另一个基片离开装载台(1)之后移走一个基片(2)并将移走的基片(2)传送到第二传送系统(5),第二传送系统(5)将基片(2)传送到分配或焊接台(6),然后传送到安装半导体芯片的粘结台(7)。具有相互以预定距离设置的两个线圈(10,11)的传感器(8)设置为使由第一传送系统(4)传送时基片(2)的端部穿过两个线圈(10,11)之间形成的间隙。由传感器(8)传送的信号用于确定表示第一传送系统(4)是否应将基片(2)传送到第二传送系统(5)的控制信号。
搜索关键词: 用于 安装 半导体 芯片 装置
【主权项】:
1.一种用于安装半导体芯片的装置,包括:用于存放基片(2)的装载台(1),第一和第二传送系统(4;5),第一传送系统(4)用于把基片(2)一个接一个地从装载台(1)移走并将移走的基片(2)传送到第二传送系统(5),第二传送系统(5)用于将基片(2)分步骤地传送到分配或焊接台(6),在焊接台处施用一部分粘结剂或焊料,然后将基片(2)传送到安装半导体芯片的粘结台(7),以及传感器(8),该传感器包括以一个相互距离设置的两个线圈(10,11),传感器(8)被这样地设置,即使得由第一传送系统(4)传送基片(2)时基片(2)的端部穿过两个线圈(10,11)之间形成的间隙,装置用于由传感器的输出信号形成表示第一传送系统(4)是否应将基片(2)传送到第二传送系统(5)的一个控制信号。
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