[发明专利]液晶显示面板的制作方法

摘要

先于基板之像素数组区内形成多个扫描线与栅极电极，于栅极连接垫区内形成多个下垫电极电连接于相对应之扫描线，于源极连接垫区内形成多个下垫电极，再于基板上形成绝缘层与多个主动层，于像素数组区内形成多个讯号线与源极/汲极电极，于栅极连接垫区内形成多个上垫电极电连接于相对应之讯号线，于源极连接垫区内形成多个上垫电极，进行电路测试步骤，于像素数组区内形成有多个介层洞之保护层，于栅极连接垫区与源极连接垫区内形成多个接触洞，于基板上形成图案化透明导电层，且图案化透明导电层填入介层洞与接触洞中。

主权项

1.一种液晶显示面板的制作方法，该制作方法包含有下列步骤：提供一基板，且该基板表面包含有一像素数组区、一栅极连接垫区，以及一源极连接垫区，它们分别用来形成多个像素、多个栅极连接垫，以及多个源极连接垫；于该基板上沉积一第一金属层；对该第一金属层进行一第一微影暨蚀刻制程，以于该像素数组区、该栅极连接垫区，以及该源极连接垫区内分别形成多个栅极电极、多个栅极下垫电极，以及多个源极下垫电极；于该基板上方依序形成一绝缘层与一掺杂半导体层；进行一第二微影暨蚀刻制程，以于该像素数组区的该掺杂半导体层中形成多个主动层，并同时去除该栅极连接垫区与该源极连接垫区内的该掺杂半导体层；于该基板上方沉积一第二金属层；对该第二金属层进行一第三微影暨蚀刻制程，以于该像素数组区内形成多个源极电极与多个汲极电极，并同时于该栅极连接垫区与该源极连接垫区内分别形成多个栅极上垫电极与多个源极上垫电极；于该基板上方形成一保护层；进行一第四微影暨蚀刻制程，以于该像素数组区的该保护层中形成多个介层洞，并同时去除该像素数组内的该保护层；于该栅极连接垫区与该源极连接垫区内分别形成多个接触洞；于该基板上方形成一透明导电层，并使得该透明导电层填入该像素数组区的该多个介层洞，以及该栅极连接垫区与该源极连接垫区的该多个接触洞中；以及进行一第五微影暨蚀刻制程，以定义该透明导电层的图案。