[发明专利]烷基苯乙烯聚合物的交联方法及含该聚合物的组合物无效
申请号: | 03108605.5 | 申请日: | 1997-12-22 |
公开(公告)号: | CN1495221A | 公开(公告)日: | 2004-05-12 |
发明(设计)人: | J·M·J·普雷切特;S·A·哈奎;王宪章 | 申请(专利权)人: | 埃克森美孚化学专利公司 |
主分类号: | C08J3/24 | 分类号: | C08J3/24;C08L25/04 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 任宗华 |
地址: | 美国得*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及一种交联由下式表示的烷基苯乙烯聚合物的方法,如右式包括辐照所述聚合物或在贵金属催化剂存在下固化所述聚合物以获得交联的聚合物;还涉及按所述方法形成的光致抗蚀剂;又涉及一种含所述烷基苯乙烯聚合物的组合物。 | ||
搜索关键词: | 烷基 苯乙烯 聚合物 交联 方法 组合 | ||
【主权项】:
1.一种交联由下式表示的聚合物的方法:式中a是1-70000,b是0-7000,c是1-7000,R1和R2各自为1-5个碳原子的烷基,R3和R4各自为氢或1-4个碳原子的烷基,R5是2-30个碳原子链烯基,R6和R7各自为至多约30个碳原子的烷基或链烯基;该方法包括辐照所述聚合物或在贵金属催化剂存在下固化所述聚合物以获得交联的聚合物。
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