[发明专利]高纯过氧化氢的制备方法无效
| 申请号： | 03109427.9 | 申请日： | 2003-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN1439600A | 公开（公告）日： | 2003-09-03 |
| 发明（设计）人： | 马敬环;唐娜;赵永宏 | 申请（专利权）人： | 天津科技大学 |
| 主分类号： | C01B15/013 | 分类号： | C01B15/013;B01J43/00;B01J47/04 |
| 代理公司： | 天津市学苑有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 赵尊生 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子级高纯过氧化氢的制造方法，将工业过氧化氢水溶液首先与大孔强碱性阴离子交换树脂接触，再与大孔强酸性阳离子交换树脂接触，再与混合离子交换树脂接触，最后经孔径小于0.2微米的微滤膜过滤制得高纯过氧化氢产品。本发明可制得无色、无味、透明，性能稳定，杂质含量低的液体过氧化氢的产品，各种金属离子含量小于10ppb，符合半导体设备与材料国际标准SEMI·C1·9－90和SEMI·C7·5－93，能够满足半导体生产工艺中晶片清洗剂的要求。本发明生产工艺条件不苛刻，设备简单，操作容易，原料易得，成本低，利润高，可实现连续化大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 过氧化氢 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种高纯高纯过氧化氢的制备方法，其特征在于它包括下述步骤：1)将工业过氧化氢溶液连续流过装填有碳酸氢根型大孔强碱性阴离子交换树脂的交换柱进行离子交换；2)再以连续流过装填有H+型大孔强酸性阳离子交换树脂的交换柱进行离子交换；3)然后连续流过装填有碳酸氢根型大孔强碱性阴离子交换树脂和H+型大孔强酸性阳离子交换树脂的混合离子交换树脂进行离子交换，所述的阴离子交换树脂与所述的阳离子交换树脂的体积比为1∶1-2。
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