[发明专利]微悬臂梁传感器及其制作方法无效
| 申请号： | 03109492.9 | 申请日： | 2003-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN1536336A | 公开（公告）日： | 2004-10-13 |
| 发明（设计）人： | 于晓梅;张大成 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12;H01L49/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐宁;关畅 |
| 地址： | 100871北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微悬臂梁传感器及其制作方法，它包括一芯片，其特征在于：所述芯片上设置有至少一组传感单元，所述传感单元由组成惠斯通电桥的四个完全相同的力敏电阻和两个悬臂梁组成，其中两个所述电阻位于所述芯片的衬底上，另外两个电阻分别位于所述两悬臂梁上，其中一个所述悬臂梁作为测量悬臂梁，另一个所述悬臂梁作为参考悬臂梁，所述测量悬臂梁表面设置有敏感层。本发明可以通过正面腐蚀技术和硅～玻璃键合技术将悬臂梁设计、制备在液体可流动的微槽中，以直接用于液态生物分子的检测。本发明无论是应用在气体传感器上，还是生物传感器上，都将在减小器件尺寸、提高器件灵敏度以及实现传感器的多功能性上发挥重要作用。本发明在环境监测，临床的诊断和治疗、新药开发、食品安全、工业加工控制、军事等领域具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种微悬臂梁传感器，它包括一芯片，其特征在于：所述芯片上设置有至少一组传感单元，所述传感单元由组成惠斯通电桥的四个完全相同的力敏电阻和两个悬臂梁组成，其中两个所述电阻位于所述芯片的衬底上，另外两个分别位于所述两悬臂梁上，其中一个所述悬臂梁作为测量悬臂梁，另一个作为参考悬臂梁，所述测量悬臂梁表面设置有敏感层。
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