[发明专利]精细结构部件，其制造方法及使用它的产品无效
| 申请号： | 03110142.9 | 申请日： | 2003-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN1459653A | 公开（公告）日： | 2003-12-03 |
| 发明（设计）人： | 上原伸一;佐藤祐子;住吉研;金子节夫;松嶋仁 | 申请（专利权）人： | 日本电气株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G02B3/00;G03F7/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在用于在含有蚀刻控制成分的加工件中形成精细结构的制造方法中，使用各向同性刻蚀工艺，将具有孔口(36)的掩模加到加工件(30)上，且用蚀刻溶液蚀刻加工件，从而在加工件的表面内形成相应于孔口形状的凹槽(40)。由于在各向同性刻蚀工艺期间蚀刻控制成分从凹槽内的蚀刻溶液(38)中的加工件中洗提出来，所述加工件的蚀刻停止。 | ||
| 搜索关键词： | 精细结构 部件 制造 方法 使用 产品 | ||
【主权项】：
1、用于使用各向同性刻蚀工艺在含有蚀刻控制成分的加工件(30、46a、102、120、140、154、172、188)中形成精细结构的制造方法，其包括：将具有至少一个孔口(36、46d、108、126、145、162、178、194)的掩模(32、34、46b、46c)加到所述加工件上；以及用蚀刻溶液(38、110、128、146、164、180、196)蚀刻所述加工件，从而在所述加工件的表面内形成相应于所述孔口形状的凹槽(40、46h、112、130、148、166、182、198)，其中，由于在各向同性刻蚀工艺期间在凹槽内的蚀刻溶液中蚀刻控制成分从所述加工件中洗提出来，所述加工件的蚀刻停止。
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